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，自从霸占的新一代实空机械手手艺，机能对标国外先辈产物，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。（2）实空传输平台系列产物，包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。（4）零部件方面，集成产物包罗立式炉，LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。
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